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德國dellmeco太陽能和半導體-SEMI DMS系列

產品/服務：
品牌：	dellmeco
有效期至：	長期有效
最后更新：	2025-02-15 16:31

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規格參數

德國dellmeco太陽能和半導體-SEMI DMS系列

SEMI DMS 系列中的 Dellmeco 泵專為半導體行業開發。DMS 泵的單獨組裝在 100 潔凈室中進行；所有部件都在這里用去離子水進行雙重清潔和測試。完成后，將它們雙重密封在薄膜中。

　　SEMI T 和 SEMI H 系列中與介質接觸的所有部件均由 PTFE 和 TFM 制成。SEMI E 系列中與介質接觸的所有部件均由 UPPE（超純聚乙烯）制成。必須檢查所有部件對介質的抵抗力。

　　優勢覽

　　SEMI T、H 和 E 中沒有金屬成分

　　沒有彈性O形圈

　　免潤滑氣動馬達

　　在 100 潔凈室中進行組裝、清潔和泵測試，并采用密封包裝的雙重包裝

　　耐用的 TFM 隔膜

　　四種材料，適用于大范圍的應用。200℃

　　由全材料制成，CNC 制造零件

　　許多附件，如脈動阻尼器、泄漏監測等。

　　與競爭對手的產品相比，組件減少了 40%

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