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光學表面3D輪廓測量儀

產品/服務:
品 牌: 中圖儀器
有效期至: 長期有效
最后更新: 2024-12-09 22:28
單價:
面議
最小起訂量:
1 臺
供貨總量:
99 臺
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公司基本資料信息






  • 詳細說明
  • 規格參數
 中圖儀器SuperViewW系列光學表面3D輪廓測量儀采用光學干涉技術、精密Z向掃描模塊和優異的3D重建算法組成測量系統,集成X、Y、Z三個方向位移調整功能的操縱手柄,可快速完成載物臺平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。

產品功能

1)SuperViewW系列光學表面3D輪廓測量儀設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能;

2)測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調亮度等自動化輔助功能;

3)測量中提供自動拼接測量、定位自動多區域測量功能;

4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區域提取等四大模塊的數據處理功能;

5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

6)分析中同時提供*鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

 

應用*域

對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

 

SuperViewW系列光學表面3D輪廓測量儀以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析,并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數,從而實現器件表面形貌3D測量,可以測到12mm,也可以測到更小的尺寸,xy載物臺標準行程為140*110mm,局部位移精度可達亞微米*別,鏡頭的橫向分辨率數值可達0.4um,Z向掃描電機可掃描10mm范圍,縱向分辨率可達0.1nm*別,因此可測非常微小尺寸的器件。

 

性能特色

1、高精度、高重復性

1)采用光學干涉技術、精密Z向掃描模塊和優異的3D重建算法組成測量系統,保證測量精度高;

2)隔振系統,能夠有效隔離頻率2Hz以上*大部分振動,消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲,保障儀器在大部分的生產車間環境中能穩定使用,獲得高測量重復性;

2、環境噪聲檢測功能

具備0.1nm分辨率的環境噪聲檢測模塊,能夠定量評估出外界環境對儀器掃描軸的震動干擾,在設備調試、日常監測、故障排查中能夠提供定量的環境噪聲數據作為支撐。

3、精密操縱手柄

集成X、Y、Z三個方向位移調整功能的操縱手柄,可快速完成載物臺平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。

4、雙重防撞保護措施

在初*的軟件ZSTOP設置Z向位移下限位進行防撞保護外,另在Z軸上設計有機械電子傳感器,當鏡頭觸碰到樣品表面時,儀器自動進入緊急停止狀態,*大限度的保護儀器,降低人為操作風險。

5、雙通道氣浮隔振系統

既可以接入客戶現場的穩定氣源也可以接入標配靜音空壓機,在無外接氣源的條件下也可穩定工作。

 

 

SuperViewW光學輪廓儀具有測量精度高、功能全面、操作便捷、測量參數涵蓋面廣的優點,測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內,確保了高款率檢測。并且其特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。

 

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